| 扫描探针显微镜 |
| JP2008031705 2008-2-13 发明申请 |
| 2008-11-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够进行高精度的三个三维轮廓的测量，同时没有所述探针的滑动或所述样品的变形基本上发生。溶液 : 该显微镜达到一个高精度的三-维轮廓测量，该方法中使用一个精确的三-维轮廓，而不引起损伤到该样品通过具有该探针接触该样品仅在所述测量点和再移动到下一个测量点，其中所述探针是暂时和然后拉起和缩回移动到下一个测量点，其中它被再次近似到所述样品，该方法包括分析所述该接触力传感器的信号从而，以获得所述高度所述探针在该时间时，所述探针触点的所述样品与零接触力，从而以基本上消除由所述探针的滑动引起的误差和所述样品的变形导致由微小的接触力。版权 : (C)2009，inpit |
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