| 光学显微镜，聚焦位置调整方法，和用于图案的基板的制造方法 |
| JP2007125039 2007-5-9 发明申请 |
| 2008-11-20 |
| 要解决的问题 : 提供一光学显微镜能够安全地和容易地调整的聚焦，和以提供一个聚焦位置调整方法，使用它和一用于一图案的基板的制造方法。溶液 : 该光学显微镜包括 : 一光源11; 一个第一的光屏蔽部分31设置出一光学轴38; 一个第二的光屏蔽部分32设置，使得从这到所述光学轴线的距离38是由较短; 一种照明光学系统20，其上形成一个图像第一的光屏蔽部分31进一步正向比一个样品面和上形成一个图像第二的光屏蔽部分32进一步向后比所述试样表面; 一个聚焦位置传感器25用于一个周边部分，其接收进入的光通过物镜17从一相对应的区域第一的光屏蔽部分31; 一个聚焦位置传感器24用于一中央部分，其接收进入的光通过所述物镜透镜17从一相对应的区域第二的光屏蔽部分32。所述的光学显微镜聚焦位置调整根据检测到的所述第一和第二之间的对比度图像。版权 : (C)2009，inpit |
微信公众号