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用于扫描探针显微镜探针和制造方法

US12123363 2008-5-19 发明申请

2008-11-20

一种用于仪器探针组件和制造方法，包括衬底和悬臂，悬臂具有与制造期间的典型对准误差无关的长度。在一个实施例中，探针组件包括插入在衬底和悬臂之间的缓冲部分。悬臂从缓冲部分延伸，并且缓冲部分的一部分延伸超过衬底的边缘。缓冲部分的部分比悬臂更硬。相应的制造探针组件的方法便于批量制造而不损害探针性能。