自动聚焦装置和使用该装置显微镜
 
US11658499  2005-7-20  发明申请

2008-11-20
 
  显微镜装置1a形成有CCD相机30、导光光学系统20、光学系统驱动部25和控制装置50,CCD相机30获取样品S的图像,导光光学系统20将样品S的光学图像引导到相机30,光学系统驱动部25驱动相机30和光学系统20以沿z轴方向改变样品S上的焦点位置,控制装置50包括焦点控制部51。 焦点控制部分51根据在一个方向上连续改变焦点位置的同时执行的第一焦点测量所获取的多个图像来计算第一焦点测量值,根据在与第一焦点测量相反的方向上连续改变焦点位置的同时执行的第二焦点测量所获取的多个图像来计算第二焦点测量值,并且基于第一焦点测量值和第二焦点测量值来确定样本S的对焦位置。 这实现了能够在短时间内精确地确定对焦位置的自动聚焦装置和使用该装置的显微镜设备。
 
仿站