| 扫描电子显微镜及其三维形貌测量装置 |
| US12120053 2008-5-13 发明申请 |
| 2008-11-20 |
| 在三维形状测量中，控制部分中的反向散射电子检测信号和选择信号发生器通过选择信号控制信号切换部分和帧存储器，使得 : 在信号切换部分中与样品上电子束的扫描帧同步地顺序切换来自各个半导体元件的检测信号； 并且可以将来自各个半导体元件的检测信号顺序地记录在帧存储器中对应于各个半导体元件的记录地址中。 在四次电子束扫描会话之后，用于三维形状测量的每个图像数据被记录在帧存储器中，并且在用于三维形状测量的计算处理部分中处理，并且可以在显示部分中显示结果。 控制部分中的反向散射电子检测信号和选择信号发生器被配置为包括例如在帧扫描单元中更新的计数器，并且可以由非常简单的电路或软件组成。 |
微信公众号