样品观察方法与透射电镜
 
US12119916  2008-5-13  发明申请

2008-11-20
 
  提供了一种透射电子显微镜,其能够捕获连续视野图像而不具有像差的影响。 为了获得样品的整个预定范围的电子束图像,透射电子显微镜在图像拾取装置的视场中指定像差很小的区域,以指定区域为单位移动样品台,将整个预定范围捕获为多个连续的视场图像。
 
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