| 方法用于使用一个扫描探针显微镜检查测试样品，测量系统和一种测量传感器系统 |
| WODE08000824 2008-5-16 发明申请 |
| 2008-11-20 |
| 本发明涉及一种方法和以一种装置，用于使用一个扫描探针显微镜检查测试样品。根据所述的方法，一第一和第二上使用一个扫描探针显微镜进行测量所述测试样品使用所述测量传感器系统，其中的一种测量传感器和另一测量传感器是体现在一个公共测量传感器插座。第一测量期间，关系到所述测试样品中，所述测量传感器被保持在一个第一测量位置和所述其它测量传感器被保持在另一非测量位置，和所述测试样品是检查由使用一个扫描探针显微镜测量传感器。第一测量后，通过使关系到所述测试样品中，所述测量传感器被移动，从所述测量位置为一非测量位置和所述其它测量传感器是从所述其它非测量位置移动到另一个测量位置和第二测量期间，关系到所述测试样品中，所述测量传感器被保持在所述非-测量位置和所述其它测量传感器被保持在所述其它测量位置和所述测试样品是检查通过所述其它使用一个扫描探针显微镜测量传感器。本发明还涉及一种测量传感器系统的一个扫描探针显微镜。 |
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