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提高扫描电子显微镜镜筒内部绝缘性能的方法

CN200810123279.7 2008-7-11 发明申请

2008-11-19

一种提高已有扫描电子显微镜镜筒内部绝缘性能的方法，其特征是在高压控制组件外的填充胶和隔离筒之间增加了一个胶片层，并在隔离筒的下部增加一个绝缘垫圈，填充胶改用单组分室温硫化硅橡胶。经过以上改造后的扫描电镜镜筒，绝缘性能明显上升，使用寿命可延长10年以上。