| 原子力显微镜的谐波悬臂梁和成像方法 |
| US11187991 2005-7-22 发明授权 |
| 2008-11-18 |
| 一种用于原子力显微镜中的谐波悬臂，包括悬臂和探针尖端。 所述悬臂具有被选择为调谐所选高阶模式的基本谐振频率或谐振频率的形状，使得所述基本谐振频率和高阶谐振频率具有整数倍或接近整数倍的比例。所述悬臂具有被选择为调谐所述基本谐振频率或所选高阶模式的谐振频率的形状，使得所述基本谐振频率和所述高阶谐振频率具有整数倍或接近整数倍的比例。 在一个实施例中，悬臂可成形为调谐基本谐振频率。 可选地，悬臂可包括用于调谐基模或所选高阶模的谐振频率的几何特征。 公开了一种使用谐波悬臂的成像方法，由此测量高次谐波处的信号以确定样品的材料特性。 在其它实施例中，悬臂包括定位在不需要的谐波的最小位移位置处的探针尖端，用于抑制与不需要的谐波相关联的信号。 |
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