| 能量过滤阴极透镜显微镜仪 |
| US11364298 2006-2-28 发明授权 |
| 2008-11-18 |
| 本发明提供了一种能量过滤显微镜。 物镜被设置用于接收电子，以便在物镜的后焦平面中形成电子衍射图案。 入射孔，设置在所述物镜的所述背焦平面中，用于过滤所述电子衍射图案的切片。 一种磁偏转器，具有入口平面和出口平面。 入口孔设置在入口平面中。 磁偏转器设置成接收电子衍射图案的切片并将能量分散的电子衍射图案投射到出射平面。 出射孔设置在磁偏转器的出射平面中，用于选择能量分散的电子衍射图案的所需电子能量。 |
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