扫描共焦显微镜
 
JP2007117585  2007-4-26  发明申请

2008-11-13
 
  要解决的问题 : 以获得高观察性能,同时制造一个光学系统紧凑。溶液 : 该扫描共焦显微镜100包括一个微镜阵列4,其是所述的共轭表面上设置一样品1,以选择性地反映了多个观察的光发射的光束从所述样品上不同的区域1和限制反射区域以预定的区域用于每个观察光束,和一个电磁镜16偏转的所述多个观察的光反射的光束依次通过所述微镜阵列4到光检测器18通过一个或多个观察光的光束,以使它们入射在所述光电检测器18。版权 : (C)2009,inpit
 
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