| 一种多模式低压电子显微镜 |
| CA3224319 2022-6-29 发明申请 |
| 2023-12-29 |
| 本发明涉及一种在3-50kV的加速电压范围内操作的多模式低压电子显微镜，并且基于主电子束(12)的方向以以下顺序包括：产生主电子束(12)的电子束源(1)，第一静磁聚光透镜装置(3)，第二静磁聚光透镜装置(4)，聚光孔径(5)，样品架(6)，静磁物镜装置(7)，物镜孔径(8)，第一静电投影透镜装置(9)， 以及末端检测系统(18)，其包括检测屏(11)和至少一个检测器，所述至少一个检测器选自被配置为检测透射电子的信号的STEM检测器(23)、被配置为检测透射电子的信号的TEM检测器和/或被配置为检测衍射电子的信号的ED检测器。 第二静磁聚光透镜装置(4)和静磁物镜装置(7)一起包括第一物镜极片(13)和第二物镜极片(14)，样品架(6)设置在它们之间。 EDS检测器(15)设置在第一物镜极片(13)和第二物镜极片(14)之间，相对于样品架(6)基本上共面地和侧向地，用于检测能量分散的X射线辐射的信号。 EDS检测器(15)包括连接到第二物镜极片(14)上的准直器(16)。 本发明还涉及一种包括电子显微镜和EDS检测器(15)的装置，所述EDS检测器用于在包括物镜偏振器(14)的电子显微镜中检测能量分散的X射线辐射的信号。 EDS检测器(15)包括连接到物镜极片(14)上的准直器(16)。 |
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