| 离焦量测量方法的TEM(透射电子显微镜) |
| JP2007122239 2007-5-7 发明申请 |
| 2008-11-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一个离焦量测量方法在其离焦量可以稳定地测量通过消除图像运动，它是不由电子束引起的倾斜与相对于一个离焦量测量方法。TEM。溶液 : 该散焦量测量方法中，电子束被从一个一定的角度照射到一个测试件在TEM，和所述图像是稳定的，然后，所述电子束照射在所述测试件通过所述通过倾斜到一个相反的方向相同的量以所述电子束上方倾斜，和当所述图像是稳定的; 所述电子束照射的图像是通过所述图像读取成像装置，所述的图像和所述的移量是通过取获得的自相关的所述电子束照射的图像，和所获得的散焦量是通过该移位量所述的图像。版权 : (C)2009，inpit |
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