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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于快速扫描探针显微镜的闭环控制器和方法

US11800679 2007-5-7 发明申请

2008-11-13

一种操作计量仪器的方法，包括使用致动器以扫描频率在探针和样品之间产生相对运动。所述方法还包括使用在所检测的运动中表现出噪声的位置传感器来检测致动器的运动，以及使用反馈回路和前馈算法来控制致动器的位置。在该实施例中，与位置传感器在扫描带宽上表现出的噪声相比，控制步骤衰减致动器位置中的噪声。扫描频率可以达到第一扫描器谐振频率的三分之一或大于300Hz。