| 高speedultra使用位移传感器，其测量精度的原子力显微镜悬臂的两端 |
| KR1020070044188 2007-5-7 发明申请 |
| 2008-11-12 |
| 目的 : 一种高速高精度的原子力显微镜可得到精确的纳米拓扑数据通过使用一个绝对位移传感器和一相对位移传感器。<\/P> 构成 : 一个高速高精度的原子力显微镜包括一个悬臂(102)，一个致动器(103)，和一第一和第二感测单元(201)。所述悬臂沿向上和向下移动时所述测量对象的形状。所述致动器控制，使得所述恒定的功率被施加在所述悬臂。第二感测单元是设置在所述悬臂的一端，所述致动器和测量所述的绝对位移。第一感测单元是设置在所述悬臂的所述其它端，和所述悬臂之间的相对位移测量和致动器。<\/P> kipo2009<\/P> |
微信公众号