| 一种扫描电镜下原位三点弯曲超声疲劳测试装置和方法 |
| CN202311107284.X 2023-8-31 发明申请 |
| 2023-12-29 |
| 本发明公开了一种扫描电镜下原位三点弯曲超声疲劳测试装置和方法，包括超声疲劳加载模块、三点弯曲加载模块、扫描电子显微镜和气浮隔振台，扫描电子显微镜由螺纹连接于气浮隔震台顶面，超声疲劳加载模块安装在其前置外腔壁外，超声疲劳加载模块的输出端位于扫描电镜内部、且可沿自身轴线往复移动；三点弯曲加载模块与扫描电镜外腔壁相连，并与超声疲劳加载模块垂直分布在扫描电镜相邻两侧面。本发明采用加载元件外置扫描电子显微镜，提出在扫描电子显微镜有限空间内实现复杂载荷耦合加载技术，有效解决在有限空间内无法进行大载荷弯曲和高频疲劳测试的难题，原位多尺度获取复杂耦合机械载荷作用下样品的成分分布变化与微观结构损伤失效机理。 |
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