| 基于纳米数据写入和读取装置的头扫描探针显微镜上和其制造方法和纳米存储装置 |
| KR1020070043449 2007-5-4 发明申请 |
| 2008-11-7 |
| 目的 : 一种头的一个SPM(基于扫描探针显微镜)纳米数据存储，及其制造方法和一种纳米存储装置被提供以提高所述悬臂的厚度均匀性和所述的探针和所述的耐磨性所述探头，和一种热记录的加热器，以增强所述电阻的均匀性和热检测电阻传感器。<\/P> 的结构 : 头(20)的一个SPM(基于扫描探针显微镜)纳米数据存储包括一悬臂体(21)，一探针(22); 和一个加热器(23)。所述悬臂体包括一个电阻传感器(24)用于所述的再现数据。探针是所述悬臂的一端上形成体。所述加热器是所述的上侧上形成所述探针和加热所述探头上。该悬臂体和探针是由氮化膜的形成。<\/P> kipo2009<\/P> |
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