| 扫描电镜样品台 |
| CN200720157305.9 2007-11-16 实用新型 |
| 2008-11-5 |
| 本实用新型提供一种扫描电镜样品台，包括样品座和圆台，其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设有插样品座的插孔，其特征在于：样品座为一组，尺寸大小不一，且在临近圆台顶端的侧壁上设有连通插孔的螺孔，螺孔内设有固定样品座的螺栓。用于做扫描SEM和能谱EDS时，圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，然后根据样品的多少，选择一大小相应的样品座插入圆台的插孔中，再由螺栓配合螺孔对其固定，把样品固定到样品座上即可进行SEM和EDS的观测；用于做EBSD时，圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，电子背散射衍射专用座插入圆台顶端中心的插孔，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，把样品固定到样品座上即可进行EBSD检测。 |
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