| 光学系统和光学显微镜 |
| US11416111 2006-5-3 发明授权 |
| 2008-11-4 |
| 一种将入射光的强度分布校正为平坦强度分布的光学系统,包括 : 第一透镜组,其包括至少一个透镜并具有正折射光焦度; 第二透镜组,所述第二透镜组包括至少一个透镜并且具有负折射光焦度,所述第二透镜组在入射光的方向上位于所述第一透镜组的后面; 以及第三透镜组,其包括至少一个透镜并且具有正折射光焦度,所述第三透镜组在入射光的方向上位于所述第二透镜组的后面。 在光学系统中,准直入射光,并通过第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组的球面像差将入射光的强度分布校正为平坦的强度分布。 |