产业专利数据
 
扫描电子显微镜装置
 
JP2007129844  2007-4-12  发明申请
2008-10-30
 
  要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜装置，其中一个电子枪被保持在真空中。溶液 : 该扫描电子显微镜1被提供有一电子枪2在其一个金属膜，一碳薄膜，金刚石膜，和一种金刚石状碳膜，其发射的电子加速的和可以承受所述气氛提供在该电子枪窗口35，和一个密封容器33被保持在真空。版权 : (C)2009，inpit
 
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