利用差分光学切片干涉显微镜表征透明薄膜的方法
 
US11789769  2007-4-25  发明申请

2008-10-30
 
  一种用于测量透明薄膜的折射率和厚度的成像,差分光学切片干涉显微镜(DOSIM)系统和方法。 折射率和厚度从样品透明薄膜的两个干涉图像计算,该样品透明薄膜具有落入光学切片显微镜的轴向响应曲线的线性区域内的垂直偏移。 在此,图像由显微镜物镜在法线方向上,即在垂直于薄膜纬向表面的方向上形成。 因此,透明薄膜的横向分辨率是基于瑞利判据0.61A/Na来估计的。
 
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