| 反射式明视场显微镜、观察方法及程序 |
| WOJP22016018 2022-3-30 发明申请 |
| 2023-10-5 |
| 根据本实施例的反射式明视场显微镜100包括：照明光学系统10，其具有能够形成具有相互不同的环带半径的多个环形照明光束10a的物镜31和孔径图案转台16，并且其利用照明光束10a照射样品S； 检测光学系统30，其通过物镜31将来自样品S的第一反射光和来自样品S周围的界面的第二反射光聚焦到成像装置35； 以及控制单元50。 使用通过控制单元50对孔径图案转台16的控制而形成的多个环形照明光束10ai中的每一个，成像装置35在物镜31和样品S的相对位置不同的多个位置中的每一个处检测第一反射光和第二反射光。 |
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