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一种扫描电镜样品台集合器
CN200820002530.X 2008-1-17 实用新型
2008-10-29
本实用新型公开一种扫描电镜样品台集合器,包括金属圆台和螺栓,所述金属圆台表面设有4~8个等份通圆孔作为扫描电镜样品台装载位置,所述扫描电镜样品台装载位置入口处设有圆倒角,侧面设有螺孔,螺孔通扫描电镜样品台装载位置。本实用新型可以一次性装入4~8个扫描电镜样品台,提高工作效率和确保扫描电镜真空度,性能稳定,结构简单。
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