| 扫描探针显微镜观察的样品和方法使用该相同 |
| JP2007322722 2007-12-14 发明申请 |
| 2008-10-23 |
| 要解决的问题 : 为了解决该问题，其中一种近场中扫描显微镜，其使用一个孔径探针，所述所述孔径形成为至多$number的上限NMS实践中，在近场扫描显微镜使用一种散射的探头，所述分辨率的能力被限制到至多$numberNMS，由于该外部照明光作为背景噪声，和此外，所述测量重现性被显著地下由于损坏或磨损一种探针的。溶液 : 一种光学数据和所述的表面不均匀性的数据可以被测量的样品在一种纳米-阶的分辨率能力和一高再现性，同时损坏既所述探针也不通过制造所述样品上的等离子体-增强的近场探针具有一纳米阶的光学分辨率的能力，通过结合一种纳米-与纳米-顺序的顺序圆柱形结构的微粒，并重复地移动所述探头向所述样品和远离那里与一个所述样品上的小接触力在各个测量点。版权 : (C)2009，inpit |
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