| 扫描探针显微镜 |
| US12099176 2008-4-8 发明申请 |
| 2008-10-23 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，其能够在基本上不发生探针滑动或样品变形的状态下进行高精度的三维轮廓测量。 本发明利用扫描探针显微镜实现高精度的三维轮廓测量， 其中该方法通过使探针在测量点接触样品，然后移动到下一个测量点，进行测量以获得精确的三维轮廓，而不会对样品造成损伤， 其中，将探针向上拉起并暂时缩回，然后移动到下一个测量点，在那里探针再次接近样品， 所述方法包括 : 分析所述接触力传感器的信号，以获得所述探针以零接触力接触所述样品时所述探针的高度； 从而基本上消除了由于探针的滑动和由于微小的接触力引起的样品的变形而引起的误差。 |
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