| 线宽测量调整方法和扫描电子显微镜 |
| KR1020070029451 2007-3-26 发明授权 |
| 2008-10-21 |
| 一种线宽测量调整方法，其是第一和第二的电子束强度分布时使用的用于测量一个线宽度是从强度分布的图像产生二次通过扫描一第一照射距离分别获得的电子与电子束在第一放大，并通过扫描一第二与一电子束照射距离在第二放大率; 包括调节所述的步骤第二所述电子束的电子束强度分布在第二放大率这种该第二电子束强度分布是等于第一所述电子束的电子束强度分布在第一倍。第二电子束强度分布可以通过增加或减少一第二调节照射距离当制造所述电子束强度分布。 |
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