| 扫描电子显微镜和处理由扫描电子显微镜获得的图像的方法 |
| US12016290 2008-1-18 发明申请 |
| 2008-10-16 |
| 在用扫描电子显微镜对试样成像的情况下，希望获得具有降低的噪声分量的高质量的图像，从而提高图像处理的精度。 基于成像条件或样品信息计算光束的强度分布， 并且通过使用除了光束强度分布之外的分辨率劣化因子作为劣化模式的目标来执行图像恢复，从而可以在各种条件下获得高分辨率图像。 在用于半导体检查和半导体测量的扫描电子显微镜中，恢复的图像用于图案尺寸测量，缺陷检测和缺陷分类等，从而可以提高测量的精度，从而可以使缺陷检测和分类变得高精度。 |
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