扫描电镜测试装置
 
US11418081  2006-5-5  发明授权

2008-10-14
 
  用于检查超小型共振结构的操作和功能的测试装置,特别是使用SEM作为测试装置,其电子束作为带电粒子的激励源,以使超小型共振结构共振并产生EMR。
 
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