| 用于估计测试结构的曲率半径的扫描探针显微镜悬臂针点 |
| RU2006144615 2006-12-15 发明授权 |
| 2008-10-10 |
| 字段 : 物理学。物质 : 用于估计测试结构的曲率半径的扫描探针显微镜悬臂针点由与垂直针-点基础的。所述基础包含密堆积的浮雕蜂窝近表面层，相邻的单元具有公共壁。每个电池是在至少五个壁，每个小区被垂直的壁，和单元壁的顶部被凹。针-点被连接在三个壁的顶部的各种单元结区域，针-点的顶部的曲率半径是1至3nm，和针-点高度是20至100nm。单独的针点之间的距离是10至500nm，近表面的基础层是由铝。所述基础表示含近表面的基础衬底与薄铝膜层。所述基板是由单结晶的硅。效果 : 改进的悬臂针的曲率半径的再现性估计。4Cl，6显示 |
微信公众号