| 用于显微镜和扫描探针显微镜探针 |
| JP2007168471 2007-6-27 发明申请 |
| 2008-10-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一种探针，用于一样品的显微镜可同时一形状的表面和多个一种微区中的物理特性，和一个扫描探针显微镜。溶液 : 所述探针用于显微镜包括 : 一个悬臂22具有一绝缘层28所述表面上; 一探头部分21放置在所述悬臂的所述顶部端，其是针状; 一第一金属结构29设置在所述悬臂的所述的上表面，具有一第一端在所述所述悬臂的顶端; 一第二金属结构30设置在所述悬臂的所述的上表面，具有一第二端部301在所述悬臂的所述顶部端; 一导电层70形成在所述探针部的附近; 和一第三金属结构80放置所述上开的从第一和第二上的金属结构所述悬臂的表面，和连接到所述导电层。版权 : (C)2009，inpit |
微信公众号