| 微波的微波波导探针原子力显微镜 |
| JP2008070592 2008-3-19 发明申请 |
| 2008-10-9 |
| 要解决的问题 : 以开发一种微波波导探针，其中一种化合物半导体是用于一基板用于实现微波原子力显微镜。溶液 : 在一探针10，一悬臂部分12是一个资源管理器之间的弯曲通过一个原子间力工作在所述悬臂的尖端12和样品20。一弯曲量是通过一个所谓的光杠杆检测系统，其中从一个激光器30产生的激光光所述探针是允许以命中到所述的后10，和被检测反射激光的光通过一个受光电二极管40。所述用于所述微波原子力显微镜探针10需要材料具有优良绝缘性能作为一种介电; 用于高效地发送一个微波照射该样品20，和为此的一种化合物半导体是作为一个探针材料具有优良绝缘性能。例如，砷化镓(GaAs)被使用。所述微波波导探针具有一结构具有一波导，它是一种金属的平行板构成的传输机构线16，18位于所述上和下侧上的所述的悬臂12上。版权 : (C)2009，inpit |
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