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产业专利数据

用于半导体和薄膜材料测试的显微镜物镜适配器

WOUS23063040 2023-2-22 发明申请

2023-10-5

提供了一种物镜适配器，其包括框架、框架盖、用于插入物镜的开口和压板。容纳探针芯片的操纵器放置在台板上。探针芯片用于对薄膜材料和半导体进行电学、机械、光学、化学、结构等测量。物镜适配器安装到显微镜上，包括3方显微镜。