| 自旋极化的扫描电子显微镜 |
| JP2007080181 2007-3-26 发明申请 |
| 2008-10-9 |
| 要解决的问题 : 提供一装置能够执行的测量，同时保持次级电子收集效率和所述自旋极化的程度，并施加一高磁场具有的电平不小于1kOe到样品，在一个自旋极化的扫描电子显微镜。溶液 : 该自旋极化的电子扫描显微镜包括 : 一个照射光学系统照射一磁材料样品202与一主电子束从电子枪发射的; 样品安装装置，用于在其上安装所述样品; 一输送光学系统从所述样品输送二次发射的电子由所照射的所述主电子束; 和一旋转检测器检测所述传送二次电子的自旋极化的程度作为一个信号; 和用于观察磁畴基于所述样品在所述的图像信号相关到该程度自旋极化的。该自旋极化的扫描电子显微镜被其特征在于，所述样品安装装置具有磁场应用机构203，206和207每个施加一磁场至该样品; 所述磁应用机构具有一个磁屏蔽件203具有一个开口，通过所述主电子束和所述二次电子的210通; 和所述磁屏蔽件是一个电子枪侧上设置所述样品的表面到屏蔽杂散所述样品表面上的磁场。版权 : (C)2009，inpit |
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