| 扫描探针显微镜及其测量方法 |
| US12061308 2008-4-2 发明申请 |
| 2008-10-9 |
| 一种扫描探针显微镜的测量方法，包括 : 第一接近操作，将精细定位单元的操作位置调整到接近最大伸出量，并通过粗定位结束接近； 基于第一接近操作，使探针在闭合探针状态下扫描待测表面以获得样品表面的浮雕信息的第一测量操作； 基于通过第一测量操作获得的释放信息将探针定位在凹陷部分的定位操作； 使探针在由定位操作确定的位置再次接近表面的第二接近操作， 将Z轴微调定位装置的操作位置调整到接近最大伸出量， 以及结束所述重复接近，以及基于所述第二接近操作使所述探针在闭合探针状态下扫描所述待测量表面以获得所述样品表面的浮雕信息的第二测量操作。 |
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