| 显微镜仪器 |
| JP2007075379 2007-3-22 发明申请 |
| 2008-10-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种成本低的显微镜仪器能够容易地执行一测量点的对准操作。溶液 : 该显微镜仪器包括一个Z级15用于垂直移动一物镜透镜11，一聚焦点检测系统30用于照射一测试物质21与测量用于聚焦检测光，一信号处理部41用于控制所述Z级15基于该聚焦检测结果，和一个测量部分42用于测量所述量所述物镜透镜11的运动的。两个楔形棱镜51a和51b被设置在所述所测量的光的光学路径并且旋转所述光学轴线周围由旋转机构52a和52b。一个计算部分62重复计算装置所述楔形棱镜的角度51a和51b，其使所述所述测量光的照射位置匹配所述测量位置通过一方向引导部分63。一驱动器61驱动该旋转机构52a和52b，根据所述计算装置的角度。因此，所述所测量的光的照射位置如下所述定向测量位置上。所述计算部62所述的方式所述所测量的光的照射位置的变化如下所述定向测量位置，根据所述定向测量位置。版权 : (C)2009，inpit |
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