| 扫描电子显微镜 |
| US12073948 2008-3-12 发明申请 |
| 2008-10-2 |
| 扫描电子显微镜可以通过带通分辨出所需能量范围内的二次粒子，并以较高的屈服点检测出二次粒子。 即使当透镜23设置在物镜18的电子源侧，并且初级电子束在透镜的电子枪侧形成任何光学系统时，透镜操作初级电子束以会聚到作为特定位置的会聚点24。 在一次电子束的会聚点24处，设置有提供影响从试样2产生的二次粒子的轨迹的场的检测EXB16，以便仅将特定能量范围内的二次粒子引向检测单元13。在一次电子束的会聚点24处，设置有检测EXB16，该检测EXB16提供影响从试样2产生的二次粒子的轨迹的场，以便仅将特定能量范围内的二次粒子引向检测单元13。 因为影响二次粒子轨迹的场被提供到的位置是一次电子束19的会聚点，所以可以仅将所需能量的二次粒子引入检测单元而不增大一次电子束19的像差，并且还可以有效地进行能量的带通鉴别。 结果，可以区分和检测根据观察对象的信号电子。 |
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