| 光强校正、照明、显微镜成像、硅片缺陷检测装置及方法 |
| CN202310694041.4 2023-6-13 发明申请 |
| 2023-7-14 |
| 本发明提供了一种光强校正方法、装置、存储介质、照明系统、显微镜成像系统、硅片缺陷的检测装置及方法。所述光强校正方法包括以下步骤：以原始光源关于视场光阑视场的第一输出光强分布、科勒照明模块所需的目标光源尺寸及目标光源发散角度为输入变量，以所述科勒照明模块的输出端所需的第一目标照度分布为优化目标，构建光强校正模型；获取所述第一输出光强分布、所述目标光源尺寸、所述目标光源发散角度及所述第一目标照度分布，并求解所述光强校正模型，以确定所述焦距、所述距离及所述遮拦视场；以及根据所述焦距、所述距离及所述遮拦视场配置所述光强校正模块，校正所述原始光源，以获得满足所述第一目标照度分布的校正光源。 |
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