| 扫描显微镜和调整用于所述相同的方法 |
| EP08005624 2008-3-26 发明申请 |
| 2008-10-1 |
| 容易和最佳调整可以通过消除所制成的需要他\/她的用户操作来理解所述之间的关系; 在所述一个手，一个物镜的放大率(6)和一个照明光的偏转角度偏转，通过扫描装置(3)，和所述另一方面，所述总所述的基础上的所述的放大率放大所述物镜(6)和所述照明所述的偏转角度偏转的光通过所述扫描装置(3)。本发明提供了一种扫描显微镜(1)包括一个物镜(6)用于聚焦的照明光在一个样品(A); 扫描装置(3)用于偏转和扫描所述的照明光; 一种光瞳投影光学系统(4)用于照明光瞳所述物镜的透镜(6)与所述的照明光扫描通过该扫描装置(3); 一总倍率指定单元(15)用于指定一总倍率，一个光学系统选择单元(13，27)，用于改变至少一个所述物镜的透镜(6)和所述光瞳投影光学系统(4)在这样的一种方式的一放大一个光学系统包括该物镜(6)和所述光瞳投影光学系统(4)是等于或小于所述总指定的放大率由所述总倍率指定单元(15)和使所述光学系统的数值孔径是最大化; 和一偏转角度确定单元(15-19)用于确定所述的照明光的偏转角度偏转，通过该扫描所述的装置(3)所述的基础上比所述的放大率的光学系统到所述总倍率作为以达到所述的总放大倍率。 |
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