| 用于扫描探针显微镜的cabtilever的制造方法 |
| RU2007103433 2007-1-29 发明授权 |
| 2008-9-27 |
| 字段 : 物理学。物质 : 本发明是有关微机械器件的制造方法的领域，即以扫描探针的形成的方法显微镜探针，在特定的，由控制台和针的悬臂。在悬臂的制造方法，其包括形成kdb的单-晶体硅晶片的顶表面上具有取向(100)悬臂的针通过硅的局部各向异性刻蚀的方法，形成的P-的顶侧上n的过渡晶片，本地的电化学蚀刻晶片从该后侧以硅酸与创建的P-n的过渡膜，形成悬臂从所述的saidmembrane控制台装置的局部的各向异性刻蚀的膜从两侧板与应用掩模，其保护的针和顶部分的控制台，悬臂的针被形成之前形成的P-N过渡。n-层的深度量到控制台的厚度加倍，和用于局部各向异性的蚀刻掩模膜被接收到通过剥离的光刻方法与应用的底部“牺牲”层和顶屏蔽层从化学的低活性金属。效果 : 获得的悬臂与再现针的控制台和更高分辨率的几何参数。3Cl，15显示 |
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