| 扫描电子显微镜 |
| JP2007059739 2007-3-9 发明申请 |
| 2008-9-25 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜缩短所需的时间，以达到一所需的压力在一宽的压力调节范围，和与一个旋转泵取消了异用于一个样本室。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个电子枪室壳体的一个电子枪与一第一连接真空排气装置排气为真空，样品室包含一样品，和所述的电子枪室之间设置一个中间室和所述样品室用于容纳所述样品上照射电子束的电子-光系统，所述电子枪发射和连接有一第二比下真空中的真空排气的排气装置第一的真空排气装置通过一个压力可变阀。所述的电子枪室和所述中间室，以及作为所述中间室和所述样本室被与每个其它连接，分别，通过一压力控制膜片，从而要在差动泵浦，而所述样品室和所述的电子枪室，以及作为所述样品室和所述中间室被连接与每个其它，分别，通过一真空阀，所述样品室配备有一微泄漏阀。版权 : (C)2008，inpit |
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