| 扫描探针显微镜 |
| US10598045 2005-2-14 发明申请 |
| 2008-9-25 |
| 本发明的实施方式涉及一种扫描探针显微镜,其包括基架,具有探针的探针保持器和探针支撑件固定在或可以固定在基架上。 探头和样品架可以相对于彼此移动,以便通过扫描布置在样品架上的样品来获得关于样品表面的信息。 此外,反应室可以安装在扫描探针显微镜的基架上,其中布置有样品安装件。 反应室在其面向探针的一侧具有开口,探针可通过该开口进入反应室。 当反应室关闭时,反应室可以通过反应室内流体的特定影响来实现样品表面的处理。 |