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扫描电子显微镜多样品装载组合装置
CN200720131193.X 2007-12-4 实用新型
2008-9-24
本实用新型公开了一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置,包括与电子显微镜匹配的支座,支座上设置带有多个槽的基座,基座上的各槽中分别插装一个样品座。本实用新型结构合理,样品更换方便、快捷;可以进行多样品、多角度、不同大小样品座的组合;减少了对样品室真空度的影响和污染;使用高导电性金属精密加工,插槽和弹性钢珠确保金属部件之间连接的导电性;可以任何型号和厂家的扫描电子显微镜匹配使用。
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