| 用于扫描隧道显微镜的集成电子束针尖和样品加热装置 |
| US11443714 2006-5-31 发明授权 |
| 2008-9-23 |
| 提供了一种用于加热样品和用于扫描隧道显微镜(STM)的尖端的温度高达2200K的电子束加热装置。 电子束加热装置包括分别与电子束样品加热载体和电子束尖端加热载体配合的基台，两个载体都包括灯丝。 将灯丝集成到可转移电子束样品加热载体和电子束尖端加热载体中能够实现灯丝交换而不使真空系统排气。 样品和灯丝之间的固定距离使得能够进行可再现的样品温度控制，并且灯丝安装在样品的背面，从而允许用于温度测量的光学访问，并且允许在不改变样品或灯丝的位置的情况下进行样品制备过程。 一旦尖端被加载，尖端和灯丝之间的固定相对位置使得能够可再现地控制加热。 尖端保持器包括连接到尖端的电隔离柱，使得能够向尖端施加单独的电势。 |
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