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根据扫描电子显微镜图像精确测量小物体尺寸和线宽粗糙度的方法

US11244357 2005-10-6 发明授权

2008-9-23

一种根据扫描电镜图像精确测量微小物体尺寸和线宽粗糙度的新方法，是对现有方法的改进，实现了新的测量策略。该方法对视频信号的噪声具有较高的稳定性。