| 样品负载粒子束设备中的移位过程和负载粒子束设备以及作为样品用于传输电子显微镜 |
| DE102008013753 2008-3-12 发明申请 |
| 2008-9-18 |
| 在一个室的所述样品衬底上的负载粒子束设备的所述样品被占用和传送到所述该样品的样品架和操纵存在的情况，如果所述样品架上的所述样品被紧固。存在一个控制一个标记过程，其上施加一标记在所述室通过一墨一表面该样品的股票，其是存在于所述样品衬底; 一运输过程，其占用该样品通过样品握持设备和这些传送从所述样品衬底以所述样品架; 和一个位置控制过程，其中将所述样品的情况，如果所述样品被紧固到所述样品夹持器，同时该标记所述的表面上施加所述样品被观察到。 |
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