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扫描探针显微镜
US12023158 2008-1-31 发明申请
2008-9-18
一种扫描探针显微镜,能够进行不受样品的静电电荷分布影响的形状测量,该扫描探针显微镜在探针和样品之间进行相对扫描的测量期间,通过与扫描同步地检测由于静电电荷引起的悬臂的弯曲或振动状态的变化来监测静电电荷状态,并且进行电位调整以消除静电电荷分布的影响,从而防止由于放电引起的探针或样品的损坏,并且减少由于静电电荷分布引起的测量误差。
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