| 具有长度测量功能扫描电子显微镜及尺寸长度测量方法 |
| US11821028 2007-6-21 发明申请 |
| 2008-9-18 |
| 一种具有长度测量功能的扫描电子显微镜，包括发射电子束的电子枪， 测量目标区域设置单元，用于设置在样本上形成的图案的测量区域， 存储单元，用于存储指定的测量区域；射束消隐单元，用于根据测量区域控制电子束的照射；以及控制单元，用于从存储单元提取指定的测量区域，在测量区域以外的区域中用射束消隐单元中断电子束，将通过射束消隐单元的电子束照射到测量区域中的样品上，捕获测量区域的图像，并测量图案。 测量区域可以由一对测量区域表示，并且各个区域可以具有彼此相同的区域。 |
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