| 扫描电子显微镜具有长度测量功能和样品尺寸长度测量方法。 |
| WOJP08052649 2008-2-18 发明申请 |
| 2008-9-18 |
| 一种扫描电子显微镜测量的一长度具有一功能与所述测量的长度的一减小的变化值由于一个测量对象和所述图案的形状与长度的一个改进的精度测量，和一个样品尺寸测量方法被提供。该扫描电子显微镜测量的一长度(100)具有一种功能包括一个电子枪(1)发射一个电子束，一个测量对象区域设定部(50)用于设置一个测量区上形成一图案的一样本，一个存储部分，用于记录一个指定的测量区，一束消隐电路部分(11)用于控制所述的应用电子束依赖于所述测量区，和一个控制部分(20)用于提取所述指定的测量区域从所述存储部分，允许所述光束的阻断器部分切断所述的电子束用于该其它区比所述测量区和通过所述的电子束用于所述测量区和所述电子束施加到所述样品，和获取所述所测量的图像区域，以测量所述图案的长度。所述测量区域可以是一对测量的区域，所述测量区域和所述的区域可以被所述相同。 |
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