| 扫描探针显微镜观察的样品和方法使用该相同 |
| WOJP08053268 2008-2-26 发明申请 |
| 2008-9-18 |
| 在一种近场扫描显微镜使用一个孔径探针，所述孔径形成所述的上限是在最几个实践中十个nm。在近场扫描显微镜使用一种散射的探头，所述分辨率的能力是有限的，以在最几个十个nm，因为该外部照明光的服务作为背景噪声。此外，测量再现性是通过一种探针的损坏或磨损严重下降。光学数据和所述样品的表面不均匀性的数据可以被一种纳米处测量的阶分辨率能力和高再现性，同时损坏既所述探针也不通过制造所述样品上的等离子体-增强的近场探针具有一种纳米阶的光学分辨率一种纳米阶圆柱形结构结合的能力与纳米微粒和重复地顺序移动所述探头向所述样品和远离那里在低的接触力在所述样品上的单独测量点。 |
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