| 原子力显微镜 |
| WOJP08053869 2008-3-4 发明申请 |
| 2008-9-18 |
| 它是可能的，以提供一种原子力显微镜，其可抑制引起的图像劣化，以一高速通过降低扫描所述以下尽可能多的作为可能的误差。为了达到上述目的，所述原子力显微镜图像的一样品表面的表面形状在接触模式。所述原子力显微镜包括 : 一悬臂具有一探头，其与所述样品表面相互作用通过所述原子力，使得所述原子力产生一翘曲; 激光的光提供装置，其发射一第一激光的光朝向所述悬臂; 光检测装置; 一控制器，其中估计所述样品表面的表面形状; 和数据存储装置，其记录所估计的表面形状。 |
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